地址:天津開發(fā)區(qū)第四大街80號天大科技園A2座3層
詳細說明
可用于制造各種平面、球面,凹/凸非球面、離軸非球面反射鏡、非球面陣列、非涅爾反射鏡、微溝槽陣列和多面棱鏡等各種超精密關鍵元器件,其表面粗糙度高達納米量級(Ra<10nm),實現(xiàn)光學質(zhì)量表面的一次性成型加工。 天津微納制造技術工程中心(MNMT)利用超精密數(shù)控金剛石車床,其精度高、穩(wěn)定性好,分辨率達0.034nm,可對鋁、銅、鎳、金、塑料(PMMA 等)、硅、鍺、硒化鋅、硫化鋅等材料進行加工,以及各種尺寸的光學注塑用模仁(如手機鏡頭透鏡,數(shù)碼相機鏡頭透鏡等)。目前,MNMT開展自由曲面加工關鍵技術的研發(fā)及自由曲面關鍵件的生產(chǎn),目前已申報多項國家發(fā)明專利,成為我國關鍵件的高水準制造基地。
應用實例:
? 各種光學非球面透鏡的精密模芯及模具;
? 柱面反射鏡、拋物面及雙曲面反射鏡;
? LED準直鏡,
? 非涅爾反射鏡及非涅爾透鏡;
? 各種光學自由曲面透鏡的精密模芯及模具
? LCD顯示屏的微透鏡陣列;
? 手機透鏡、數(shù)碼相機透鏡及DVD讀寫鏡頭;
? 各種蠅眼反射鏡及蠅眼透鏡
精密檢測技術
檢測分析是超精密加工工序中必不可少的關鍵環(huán)節(jié),在加工過程中需要有高精度的檢測儀器來配合其做出合格的產(chǎn)品。我中心配備了各類國內(nèi)外先進的檢測分析儀器來保證產(chǎn)品的精度,包括非球面表面輪廓測量系統(tǒng),白光干涉儀,超景深微觀顯微鏡,掃描電子顯微鏡,激光干涉儀等。
表面輪廓儀
該系統(tǒng)可對包含陡峭邊沿的非球面光學鏡面及模具進行表面輪廓、形貌、粗糙度的全自動測量和分析。該系統(tǒng)在非球面光學領域應用廣泛,實現(xiàn)了無斜面限制的全自動表面測量,對表面起伏很大的非球面能夠?qū)崿F(xiàn)超高精度的測量。該輪廓儀對直徑為0.5mm~200mm且傾斜角度超過90°的模具或透鏡,均可以實現(xiàn)無差錯測量。
超景深三維顯微鏡
易操作,可實現(xiàn)清晰的大景深立體觀察,可從任意方向進行觀察,并可實時改善及保存圖像,實現(xiàn)觀察、保存、測量一體化。
白光干涉儀
具有測頭系統(tǒng)自動傾斜測量功能,垂直分辨率< 0.1nm Ra, RMS重現(xiàn)性 0.05nm ,可透過介質(zhì)測量表面,主要應用于生物醫(yī)藥器具檢測 ,印刷電路板檢測,汽車零部件質(zhì)量和光學器件測量,以及MEMS和鍍膜工藝測量等等。
掃描電子顯微鏡
FEI SEM/FIB雙束系統(tǒng),在同一操作界面可同時實現(xiàn)FIB加工和SEM觀察,是納米加工、2D/3D納米表征、納米分析的理想工具??蓱糜诟呔?/span>復雜的微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工,微電子集成電路的缺陷檢測分析和修整,微納米生物芯片和光學器件加工研究,同時還可進行3維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析、EBSP分析等。